标签:无金属CVD

纳米科技

单晶硅表面无金属催化CVD生长石墨烯

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NMSCI 发布于 2018-01-16

内容简介 在单晶硅(最常见的半导体材料)表面无金属催化直接生长石墨烯在诸多技术领域有着重要的应用前景。然而单晶硅没有催化活性且高温下表面不稳定,目前在单晶硅表面直接生长制备高质量石墨烯仍是一项技术难题。 中科院上海应用物理研究所李晓龙等人首次报道了在倒置的单晶硅片基体上无金属催化...

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