封面文章简介:等离子激发晶粒聚合实现3D纳米结构的自组装

 论文概述

晶粒聚合广泛应用于薄膜改性、纳米焊接、纳米结构自组装等诸多微纳制造领域。然而,晶粒聚合的自组装尤其是3D纳米结构的自组装,目前还缺乏系统的研究。明尼苏达大学Jeong-HyunCho教授研究了等离子体激发晶粒聚合的机理, 发现利用等离子体激发的热能可精确控制纳米相的产生及晶粒聚合的形貌,通过调控等离子体的功率和反应气体的流量,可以获得不同的刻蚀效率和图案,从而得到各种形貌的晶粒团聚体。搭配好各向同性和各向异性衬底,可通过激发不同方向衬底上的二维纳米结构,利用晶粒聚合时产生的足够的表面张力,最终形成各种3D纳米结构。

文章引用信息
ChunhuiDai, Daeha Joung, Jeong-Hyun Cho, Plasma Triggered Grain Coalescence forSelf-Assembly of 3D Nanostructures.Nano-Micro Lett. 9:27 (2017). doi 10.1007/s40820-017-0130-z.此工作发表于Nano-Micro Letters期刊2017年第9卷第3期,详情请阅读全文,可免费下载全文。本文同步在期刊微信、微博、科学网博客、APP、Facebook、twitters等平台推出。以往推文请关注中文推广网站(http://nmsci.cn)。
            
作者介绍

Jeong-Hyun Cho ,明尼苏达大学电子与计算机工程系副教授,华盛顿州立大学博士。近几年在Advanced Materials, Nano Letters, ACS Nano, AdvancedEnergy Materials,等期刊上发表论文40余篇。
研究方向:3D 微纳器件;纳米颗粒的 3D 表面图形化;锂电池等储能系统。Email: jcho@umn.edu主页链接:www.jeong.umn.edu

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图文导读

图1. 晶粒聚合和3D纳米结构自组装的概念图和SEM图

图2. 晶粒聚合的SEM图

图3.(a)垂直蚀刻速率(V)和(b)水平刻蚀速率 (H)变化的实验结果

图4. (a)量化的颗粒聚结在RIE工艺中的不同功率,(b) 颗粒聚合与垂直和水平刻蚀速率的关系

图5. 三维纳米结构自组装在不同氧流量下的SEM图像

图6. 实验结果和扫描电镜图像

Nano-Micro Letters《纳微快报》


Nano-Micro Letters《纳微快报》是严格评审的国际英文学术期刊,快速报道与纳米/微米尺度相关的高水平研究成果和评论文章,尤其关注从纳米到微米的自下而上的工作,旨在推动纳微科技的发展和应用。期刊与Springer合作,以Open Access出版。采用国际一流的Scholarone Manuscripts编审系统。目前,NML期刊已被SCI、EI、SCOPUS、DOAJ、知网、万方等数据库收录。最新影响因子达到了4.849,材料学科和物理学科位于Q1区。2014和2016年连续入选“中国科技期刊国际影响力提升计划”(D类和B类),2016-2018年入选“上海市高水平高校学术期刊支持计划(A)”。2015和2016年均获“中国最具国际影响力学术期刊”,2016年获“2016年全国高校杰出科技期刊奖“和”上海市高校精品科技期刊奖”。

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