标签:柔性薄膜晶体管

器件科技

南洋理工P.S.Lee团队:低温原子层沉积纳米叠层介电增强柔性薄膜晶体管性能

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NMSCI 发布于 2022-11-11

随着微电子技术发展和应用,具有可弯曲、可变形和便携式等特性的柔性薄膜晶体管,在可穿戴健康管理设备和柔性显示器等领域引起了广泛的研究。其中使用金属氧化物制成的柔性薄膜晶体管,虽然与碳纳米管和有机材料制备的晶体管相比具有更好的性能和稳定性,并且可以与半导体工艺相兼容以实现大规模制备,...

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