标签:微型压阻式传感器

器件科技

NML综述 基于表面应力的微型压阻式SU-8聚合物悬臂梁传感器

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NMSCI 发布于 2018-04-09

【引言】 近十年以来,基于压阻信号读出的微型机电系统(MEMS)SU-8聚合物悬臂传感以及分子识别技术得到快速发展,在化学和生物传感等领域已经得到广泛的应用。SU-8的弹性模量较低,相比于传统基于固相半导体的压阻式悬臂梁传感器系统,SU-8聚合物悬臂梁具有灵敏性好、材料和制备成本...

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